尺寸：0~20L/H采用550X340X525mm，20~100L/H采用1150X500X650mm，100~300L采用1650X800X900mm。
纯水：离子去除率99%，pH5.0~7.5，微生物<1cfu/ml
超纯水：电阻率（25°C）>18.2MΩ.cm，TOC<5ppb，微生物<1cfu/ml，微粒（粒经>0.22μm）<1个/ml，热源<0.001EU/ml，重金属含量<0.01mg/L，符合中国GB6682-2008的Ⅰ级水标准，和ASTM CAP NCCLS标准。

尺寸：0~20L/H采用550X340X525mm，20~100L/H采用1150X500X650mm，100~300L采用1650X800X900mm。
纯水：离子去除率99%，pH5.0~7.5，微生物<1cfu/ml
超纯水：电阻率（25°C）>18.2MΩ.cm，TOC<5ppb，微生物<1cfu/ml，微粒（粒经>0.22μm）<1个/ml，热源<0.001EU/ml，重金属含量<0.01mg/L，符合中国GB6682-2008的Ⅰ级水标准，和ASTM CAP NCCLS标准。